【摘 要】
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首先采用热蒸发法在镀钼的PI衬底上沉积NaF薄膜,然后采用低温三步共蒸法在有无沉积NaF的PI衬底上沉积铜铟镓硒（CIGSe）薄膜,研究了第二步沉积速率和钠掺杂对CIGSe薄膜结构及电阻
【机 构】
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上海电机学院数理教学部,上海太阳能科技有限公司
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首先采用热蒸发法在镀钼的PI衬底上沉积NaF薄膜,然后采用低温三步共蒸法在有无沉积NaF的PI衬底上沉积铜铟镓硒（CIGSe）薄膜,研究了第二步沉积速率和钠掺杂对CIGSe薄膜结构及电阻率的影响。结果表明：随着第二步沉积速率增大,CIGSe薄膜的晶粒尺寸显著增大,（220/204）择优取向生长逐渐增强;随着钠掺杂量增加,CIGSe薄膜的电阻率显著下降,晶粒尺寸逐渐减小,择优取向从（220/204）织构方向转变为（112）织构方向,并出现镓的两相分离现象。
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