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基于半导体微纳米尺度加工技术的微机电系统与微光学技术的结合形成了微光机电系统MOEMS（Micro-Optic—Electro—Mochanicai Systems）。MOEMS涉及微机械、微电子、微光学、信息学，是一个新兴的极具发展潜力的多学科交叉研究领域。本文介绍了基于MEMS微细加工工艺的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国外研究现状，阐述了MOEMS的基本特征，阐述了一些典型的MOEMS系统，并分析了MOEMS技术的未来发展趋势。