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平面平晶局部平面度校准的探讨
平面平晶局部平面度校准的探讨
来源 :计量与测试技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zw244942568
【摘 要】
:
文章介绍了用平面平晶校准量块工作面平面度的方法,根据校准原理提出局部平面度校准来提高被测量面平面度校准的精度,并对平面平晶的局部校准提出了新的建议。
【作 者】
:
王海涟
【机 构】
:
苏州市计量测试院
【出 处】
:
计量与测试技术
【发表日期】
:
2020年4期
【关键词】
:
平面平晶
等厚干渉
局部平面度校准
planar optical flatisopach interferencelocal flatness calibrat
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文章介绍了用平面平晶校准量块工作面平面度的方法,根据校准原理提出局部平面度校准来提高被测量面平面度校准的精度,并对平面平晶的局部校准提出了新的建议。
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