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用热蒸发和自然氧化法制备纳米量级Al/Al2O3多层膜.检测XPS光电子能谱和UPS谱线,得到Ei(k∥I)关系曲线,并发现薄膜具有负阻特性.
纳米Al/Al2O3多层膜的光电子谱与电性能
【摘 要】
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用热蒸发和自然氧化法制备纳米量级Al/Al2O3多层膜.检测XPS光电子能谱和UPS谱线,得到Ei(k∥I)关系曲线,并发现薄膜具有负阻特性.
【机 构】
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大连铁道学院,澳大利亚新南威尔士大学光伏工程研究中心
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年期
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