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设计并制作了带有集成透镜的1×4 InGaAs/InP pin探测器阵列.对器件纵向和横向结构参数及集成InP透镜几何参数进行了模拟设计与优化.器件带宽达1.0GHz,对宽带波分复用、光互连以及光计算网络有重要应用价值.
单片集成透镜高速1^4InGaAs／InPpin探测器阵列研究
【摘 要】
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设计并制作了带有集成透镜的1×4 InGaAs/InP pin探测器阵列.对器件纵向和横向结构参数及集成InP透镜几何参数进行了模拟设计与优化.器件带宽达1.0GHz,对宽带波分复用、
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所微电子学分部,中国科学院上海冶金研究所微电子学分部上海200233,上海200233,上海200233
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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1994年5期
【基金项目】
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中国科学院上海冶金研究所青年科学基金资助项目
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