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单晶体具有一种独特的各向异性性质,这种各向异性对半导体材料和器件的制造有着十分重要的影响,因此在使用晶体时必须按一定的方向切割,才能达到较好的应用效果。
半导体定向工艺的研究
【摘 要】
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单晶体具有一种独特的各向异性性质,这种各向异性对半导体材料和器件的制造有着十分重要的影响,因此在使用晶体时必须按一定的方向切割,才能达到较好的应用效果。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年9期
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