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从优化膜系、控制膜厚、改善膜面、均衡应力等四个方面开展了实验研究工作．为制备1315nm45°高反射镜提供一些判断实验数据．并提出改进的方法．从而使制备的高反射膜取得满意的结果：反射率大于99．8％。
关于制备1315nm45°入射高反射镜的实验研究
【摘 要】
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从优化膜系、控制膜厚、改善膜面、均衡应力等四个方面开展了实验研究工作．为制备1315nm45°高反射镜提供一些判断实验数据．并提出改进的方法．从而使制备的高反射膜取得满意
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2000年B11期
【基金项目】
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国家863激光技术领域资助课题
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