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研制单位：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司产品介绍：exiTin H430 TiN金属硬掩膜物理气相沉积系统可满足集成电路300mm（12英寸）生产线28nm物理气相沉积需求。该设备有成膜均匀性好、应力低、操作简单、占地面积小、运行成本低及产能高等特点，
5产品名称：exiTinH430TiN金属硬掩膜物理气相沉积系统
【摘 要】
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研制单位：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司产品介绍：exiTin H430 TiN金属硬掩膜物理气相沉积系统可满足集成电路300mm（12英寸）生产线28nm物理气相沉积需求。该设
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年2期
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