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针对薄膜应变片在圆平膜片上的两种基本布置方式,导出了平膜片式薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实用计算公式,分析了膜片的厚径比、薄膜应变片在膜片上的布置方式和位置对传感器的线性度与灵敏度的影响.给出了部分研制的薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实测结果与理论计算结果的比较.
平膜片式薄膜压力传感器的线性度与灵敏度分析
【摘 要】
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针对薄膜应变片在圆平膜片上的两种基本布置方式,导出了平膜片式薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实用计算公式,分析了膜片的厚径比、薄膜应变片在膜片上的布置方式和位置对
【机 构】
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国防科技大学一系
【出 处】
：
传感技术学报
【发表日期】
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1996年03期
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