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介绍了一种掩模版制版用夹具装置,该装置具有准确的定位功能,能够自动补偿片厚误差,可进行真空复印使母掩模版与子掩模版紧密贴附,操作方便等特点。
一种掩模版制版用夹具装置的研制
【摘 要】
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介绍了一种掩模版制版用夹具装置,该装置具有准确的定位功能,能够自动补偿片厚误差,可进行真空复印使母掩模版与子掩模版紧密贴附,操作方便等特点。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2010年11期
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技