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应用氧离子束辅助准分子脉冲激光沉积薄膜技术，先在ＮｉＯｒ合金（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ－ｃ－２７５）基底上在室温下沉积具有织构的钇稳锆（ＹＳＺ）缓冲层薄膜，再在ＹＳＺ／ＮｉＣｒ基底上在７５０℃下制备具有平面织构和高临界电流密度的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ（ＹＢＣＯ）薄膜。ＹＳＺ和ＹＢＣＯ薄膜都为ｃ－轴取向和平面织构的。ＹＳＺ（２０２）和ＹＢＣＯ（１０３）的Ｘ射线扫描衍射峰的全宽半峰值分别为１８°和１１°。ＹＢＣＯ薄膜的临界温度和临界电流密度分别为９０Ｋ（Ｒ＝０）和７．９×１０＾５Ａ／ｃ