论文部分内容阅读
采用反应溅射方法制作TaNx电阻薄膜,并通过溅射Ni、Au形成双层共面电极。研究了溅射条件对电阻薄膜组分的影响以及此类电阻器的微波特性。结果显示,溅射工作真空度小于0.5Pa,氮气体积分数大于5%时,可以得到阻值稳定的六方晶体结构TaNx电阻薄膜,其共面电极的电阻器使用频率上限大于20GHz。
微波电路用共面电极TaNx薄膜片式电阻器
【摘 要】
：
采用反应溅射方法制作TaNx电阻薄膜,并通过溅射Ni、Au形成双层共面电极。研究了溅射条件对电阻薄膜组分的影响以及此类电阻器的微波特性。结果显示,溅射工作真空度小于0.5Pa,
【机 构】
：
广州翔宇微电子有限公司
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
：
2009年08期
【基金项目】
：
广东省教育部产学研结合项目(薄膜化微波元器件集成技术研究和中试生产)
其他文献
本文以高职教学改革——课程改革为出发点,以推动高职模拟导游课程教学的发展为切入点,以培养高职旅游专业学生的"依品行树人,靠技能立业"为宗旨,通过对旅游市场人才需求的调
<正>当前各金融机构正在进行数字化转型建设,开放银行在增强服务创新、提升服务质量、拓展收入来源等方面有着众多优势,但同时也面临着诸多挑战近些年,日新月异的技术冲击和
“两会”期间,许多代表、委员在谈及法院工作时,对如何深入推进社会管理创新,深表关注。深入推进社会管理创新,是中央部署的三项重点工作之一,也是一项重大、长期的社会公共
英语写作能力是衡量英语学习者综合应用能力的主要尺度。但是,英语写作往往是广大英语学习者的薄弱环节。笔者认为可以通过强化英语阅读来提高英语写作能力,本文从英语阅读与
通过问卷和访谈的形式,对粤西某普通高校在校大学生的生活方式的类型、成因进行了调查,结果显示:大学生生活方式主要有学习型、情感型、迷失型、活动型、创业型等基本类型,成
建设服务型政府是我国各级政府努力的方向和发展的趋势,但是在更多的地方却停留在理念层次。淮安市政府的101%服务,是在服务型政府理念的具体实施和落实。本文主要从淮安市10
法院要践行能动司法理念,保障社会公平正义。去年以来,王胜俊院长在各地法院的视察中多次提出能动司法的一系列观点和要求,在实务界和理论界都产生了很大的影响。我就能动司
我国的法律是党的主张和人民意志的体现,是所有社会组织和全体公民的行为规则。法学是应用性极强的学科。法因有用而有价值,法的生命在于应用,法因应用而精彩。法的生命在于
美术是一种视觉艺术,在发展学生的视知觉,提高生活品质等方面具有其他学科难以替代的作用。普通高中开设美术欣赏课,是加强学校素质教育的一项重要措施。在传统的教育模式下,