【摘 要】
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硅微谐振加速度计因具有小体积优势和高精度潜力，成为硅微惯性传感器研制的热点之一。高精度相位闭环控制系统是决定硅微谐振加速度计精度水平的重要因素。在分析硅微谐振加速
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硅微谐振加速度计因具有小体积优势和高精度潜力，成为硅微惯性传感器研制的热点之一。高精度相位闭环控制系统是决定硅微谐振加速度计精度水平的重要因素。在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上，从闭环控制系统设计的角度，分析了相位闭环控制回路的原理，提出了一种可以消除匀加速误差的高精度三阶无静差相位闭环控制方案。给出了设计思路，研究了环路性能测试方法，讨论了闭环系统相位误差的来源与抑制方法。所设计的闭环回路在0.1 Hz处静态增益为170 dB，启动时间小于20 ms，实测带宽为432 Hz，全温范围内相位闭环回路
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