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X—ray reflectivity measurement of δ—doped erbium profile in silicon molecular—beam epitaxial layer

来源 :同步辐射装置用户科技论文集 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ji5214

【摘 要】

：

Synchrontron radiation x-ray reflectivity measurement is used to study the concentration profile of a δ-doped Er layer in Si epitaxial film grown by molecular-

【作 者】

：

JunWan Q.J.Jia 等 

【机 构】

：

SurfacePlysicsLaboratory,BeijingSynchrotronRadiationFacility

【出 处】

：

同步辐射装置用户科技论文集

【发表日期】

：

1999年1期

【关键词】

：

硅外延薄膜 铒掺杂 同步辐照 X射线反射率 

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Synchrontron radiation x-ray reflectivity measurement is used to study the concentration profile of a δ-doped Er layer in Si epitaxial film grown by molecular-beam epitaxy.The oscillation of the reflectivity amplitude as a function of reflection angle is

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