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聚硅烷在XeCl准分子激光作用下光降解及亚微米光刻的研究
聚硅烷在XeCl准分子激光作用下光降解及亚微米光刻的研究
来源 :四川大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liaozhouyi
【摘 要】
:
采用308nmXeCl准分子激光研究了聚硅烷溶液和聚硅烷薄膜的光降解反应,利用玻璃片为基底,旋转涂布,分别以酚醛树脂和聚氨酯为平坦层,以聚硅烷为成像层和阻挡层,构成双层工艺,进行接近式曝光,用
【作 者】
:
傅鹤鉴
谢茂浓
【机 构】
:
四川大学化学系,四川大学物理系
【出 处】
:
四川大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
聚硅烷
光降解
光刻
亚微米光刻
准分子激光
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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采用308nmXeCl准分子激光研究了聚硅烷溶液和聚硅烷薄膜的光降解反应,利用玻璃片为基底,旋转涂布,分别以酚醛树脂和聚氨酯为平坦层,以聚硅烷为成像层和阻挡层,构成双层工艺,进行接近式曝光,用混合溶剂显影,并通过O2-RIE处理,最终得到了亚微米的光刻图形。
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