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含氟羟磷灰石薄膜在生物、抗菌和发光材料方面有着重要的应用前景。采用Ca(NO3)2和P2O5的乙醇溶液为先驱体，六氟磷酸（HPF6）作为氟引入剂，3者形成混合物，保持Ca与P的摩尔比为1.67，经回流后作为涂膜液。通过浸渍涂膜法和600℃热处理，在玻璃和钛合金基板上形成氟含量不同的含氟磷灰石薄膜，采用XRD，XPS，SEM，FTIR，紫外－可见光谱方法对薄膜进行了表征，实验结果显示HPF6是一种非常有效的氟引入剂，不仅能改变薄膜中的氟含量，适量加入时还可以明显改善薄膜的微观均匀性。