论文部分内容阅读
提出一种可用于气动微流控芯片气压控制的PDMS电磁微阀.阐述了 PDMS电磁微阀的工作 原理与结构,给出了电磁驱动器数学模型.建立了自感系数、线圈电流、阀芯运动电压、机械运动和电磁吸力 的仿真模型;建立了 PDMS电磁微阀电磁力、阀膜弹性变形力与微流道内气、液作用力之间的多物理场耦合 数学模型.利用MATLAB/Simulink软件建立PDMS电磁微阀阀膜形变模型、出口流量模型,并与5 个电磁 驱动器子模块连接.对电磁驱动器动态响应特性和PDMS电磁微阀流量动态特性进行仿真分析,给出了 PDMS电磁微阀