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用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜
用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:soaringroc
【摘 要】
:
叙述了用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层实验及制备X躬一多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多摹制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪
【作 者】
:
王国田
马月英
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
软X射线
多层膜
离子束溅射
反射率计
Soft xray Multilayer
Ionbeamsputtering
Reflectometer.
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叙述了用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层实验及制备X躬一多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多摹制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果。
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