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弹道电子发射显微镜的研制及对金属/半导体界面的探测
弹道电子发射显微镜的研制及对金属/半导体界面的探测
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a447047964
【摘 要】
:
本文报告了自行研制的弹道电子发射显微镜(BEEM)的基本工作原理、结构以及几个关键技术问题。给出了用这台仪器得到的Au/n-Si(100)和Au/n-Ga(As(100)样品的BEEM谱、表面形貌像以及界面图像,并对实验结果进行了解释。
【作 者】
:
白春礼
郭仪
樊天申
商广义
戴长春
沈德芳
【机 构】
:
中国科学院化学研究所,中国科学院上海冶金所
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
弹道
电子发射显微镜
界面
研制
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本文报告了自行研制的弹道电子发射显微镜(BEEM)的基本工作原理、结构以及几个关键技术问题。给出了用这台仪器得到的Au/n-Si(100)和Au/n-Ga(As(100)样品的BEEM谱、表面形貌像以及界面图像,并对实验结果进行了解释。
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