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本文研究硅中碳，氮原子对氧沉淀的作用机制，指出硅中碳，氮对间隙氧相互作用构成碳－硅－氧，氮对－硅－氧复合体，它们脱溶成核，构成氧沉淀的异质形核中心，促进氧沉淀的生成，文章指出硅中的氮仅参与氧沉淀的成核，而碳原子因条件而异，既可参与氧沉淀的成核，也可参与氧沉淀的长大。
碳和氮原子在氧沉淀中的作用
【摘 要】
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本文研究硅中碳，氮原子对氧沉淀的作用机制，指出硅中碳，氮对间隙氧相互作用构成碳－硅－氧，氮对－硅－氧复合体，它们脱溶成核，构成氧沉淀的异质形核中心，促进氧沉淀的生成，文章指出硅中的氮仅
【机 构】
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浙江大学硅材料科学国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1999年2期
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