【摘 要】
：
<正> 用KrF准分子激光器作光源的64M bit-DRAM的光刻生产线已正式引进到半导体工厂。准分子激光器的生产也逐渐走向正规。并且,ArF准分子激光器光刻的研究开发是以1G bit DRA
论文部分内容阅读
<正> 用KrF准分子激光器作光源的64M bit-DRAM的光刻生产线已正式引进到半导体工厂。准分子激光器的生产也逐渐走向正规。并且,ArF准分子激光器光刻的研究开发是以1G bit DRAM为主,不仅要提高准分子激光器的性能.还要达到高可靠性、易维修、操作简单。本文将介绍准分子激光器在高性能、高可靠性方面的研究课题及现状。其次介绍生产用KrF准分子激光器以及研究用ArF准分子激光器的最新开发动向及其外围课题。
其他文献
盾叶薯蓣Dioscorea zingiberensis C.H.Wright为薯蓣科薯蓣属多年生藤本植物,俗称黄姜,以根状茎入药,是我国传统常用中药材,主治胃气痛、跌打损伤、痈肿早期未破溃,蜂螯虫咬,
目的利用转基因中药表达人细胞因子基因,探讨培育基因修饰(GM)中药的可行性.方法将体外扩增分别获得的人α-干扰素基因与RANTES基因酶切回收后插入中间载体,用EcoR Ⅰ和Hind
冠心苏合丸是我厂蜜丸类主要品种之一,疗效确切,在市场上十分畅销.冠心苏合丸由乳香、青木香、檀香、冰片、苏合香油组成,其中乳香是树脂类药物,粉碎难度大,造成出粉时间过长
模因论是一种基于达尔文进化论的观点解释文化进化规律的新理论,现被借用到语言研究中,为揭示语言发展规律提供了新的视角。本研究从历史渊源、概念溯源、模因类别等角度追述
<正> 自1960年Maiman使红宝石激光器问世以来,眼科医学领域开始利用红宝石激光器,于是,治疗视网膜脱落用的光凝固疗法随
<正> 早期的光学玻璃是SiO_2—CaO(冕牌)或SiO_2—PbO(火石)与Na_2CO_3或K_2CO_3相熔合的玻璃。牛顿早先认为,色散((dn/dλ))与折射率成比例,如果此观点正确的话,则所有光学
自2001年《体育与健康课程标准》实施改革以来,轰轰烈烈的体育课改已经走过八个年头,不只学生的体质下降不但没有得到遏制,德育素质也呈现每况愈下的颓势。道德作为一种社会
此文章描述了一些能有效地应用于抛物面光学反射镜调整程序自动化的测量算法和控制程序，离轴抛物面光学反射镜的干涉调整是一件冗长乏味而又费力的过程。我们回顾以前解决调整
<正> 由于受光通信、材料表征等领域潜在应用的推动,超短脉冲光源一直是激光器发展中最活跃的领域之一。除了脉冲宽度不断减小的实验室激光器外,预计锁模半导体激光器和二极