【摘 要】
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准分子激光器软Ｘ光辐射源Ｈ．Ｓｈｉｅｌｄｓ等人指出［１－４］，为使放电准分子激光器中的体均匀自持放电触发，必须具有起始电子密度ｎｅ≥１０６ｃｍ－３的气体预电离。若ｎｅ增大到１０９ｃｍ－３，放电稳定性得到改善，且输出辐射能增大。为使气体
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准分子激光器软Ｘ光辐射源Ｈ．Ｓｈｉｅｌｄｓ等人指出［１－４］，为使放电准分子激光器中的体均匀自持放电触发，必须具有起始电子密度ｎｅ≥１０６ｃｍ－３的气体预电离。若ｎｅ增大到１０９ｃｍ－３，放电稳定性得到改善，且输出辐射能增大。为使气体预电离，最广泛采...
Excimer laser soft X-ray source H Shields et al. [1-4], for triggering a homogeneous self-sustained discharge in a discharge excimer laser, must have a gas pre-ionization with a starting electron density ne ≧ 106 cm -3. If ne increases to 109cm-3, the discharge stability is improved and the output radiation energy is increased. For pre-ionization of gases, the most widely adopted ...
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