【摘 要】
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首先对晶圆传输机器人大臂进行实体建模，采用ANSYS之Mechanical APDL和Workbench对模型进行有预应力的模态分析。然后，针对分析结果进行结构优化，并计算出较好尺寸的新大臂结构
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首先对晶圆传输机器人大臂进行实体建模，采用ANSYS之Mechanical APDL和Workbench对模型进行有预应力的模态分析。然后，针对分析结果进行结构优化，并计算出较好尺寸的新大臂结构。最后，对新的大臂模型进行有预应力的模态分析。结果表明，新结构的WTR大臂性能更加优越，抗震性更好，更有利于晶圆快速、高效、平稳地传输。
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