【摘 要】
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最近几年LPCVD技术在国际上有很大发展,由于它具有成本低,产量大,均匀性好等优点,引起了人们普遍注意,国内近两年也有几个单位开展了这方面工作.我们介绍了一些这方面的探索
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最近几年LPCVD技术在国际上有很大发展,由于它具有成本低,产量大,均匀性好等优点,引起了人们普遍注意,国内近两年也有几个单位开展了这方面工作.我们介绍了一些这方面的探索性工作之后,有些读者来信,询问装置和技术上的一些问题,前
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