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用X射线光电子谱研究了GCr15轴承钢不平衡磁控溅射沉积Ti,继之等离子体基离子注入碳的等离子体基离子注入混合层的C,Ti浓度深度分布及其化学结构。表明混合层的最表层为碳沉支,其Cls谱峰呈类金刚石特征,喇曼光谱肯定辽一特征。碳沉积层下面为C-Ti混合区,Ti和C各以游离态和化合物态存在。混合层内Ti和C浓度沿层深连续变化,无突变区,在原Ti沉积层与基材轴承钢发生反冲增强扩散现象。