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本文采用RF-PCVD法，分析了富氧高频等离子反应器内反应物AlCl3的高温氧化反应、产物Al2O3气相成核及晶粒长大过程，认为晶粒的长大过程为制备过程的主要步骤。采用Browmtian碰撞理论，经合理简化，建立了晶粒长大的动力学模型。模型分析表明：在富氧高频等离子反应器内，传递因素决定Al2O3纳米晶粒的最终粒径大小及其分布。在实验操作条件下，模型数值解与实验结果相接近，并对模型计算结果的偏大进行了初步分析。