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由清华大学摩擦学国家重点实验室主任、摩擦学会第七届主任委员雒建斌院士任首席科学家的973项目“超大规模集成电路制造装备基础问题研究”2011年度总结会议，于12月8日在深圳举行。
摩擦学国家重点实验室973项目年度总结会议在深圳召开
【摘 要】
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由清华大学摩擦学国家重点实验室主任、摩擦学会第七届主任委员雒建斌院士任首席科学家的973项目“超大规模集成电路制造装备基础问题研究”2011年度总结会议，于12月8日在深圳
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2012年2期
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