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本文研究了采用直流磁控溅射法制备的Fe-Zr-B非晶薄膜，用X－射线衍射， 透射电子显微镜（TEM）和X射线光电子能谱（XPS）研究了薄膜的结构。X射线光电子能谱（XPS）结果表明样品表面氧化比较明显，深层部分Fe，Zr，B结合占主导地位。用振动样品磁场计测量了薄膜的磁性能，并与用化学还原法制备的非晶Fe-Zr-B超细粉做了比较。