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本文简要阐述了１∶铬版复印图像反转的原理和主要装置。着重讨论了几个重点工艺参数的选择。最后给出１∶１复印图像反转铬版图形的ＣＤ精度。
1∶1铬版复印图像反转工艺的研究
【摘 要】
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本文简要阐述了１∶铬版复印图像反转的原理和主要装置。着重讨论了几个重点工艺参数的选择。最后给出１∶１复印图像反转铬版图形的ＣＤ精度。
【机 构】
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中国华晶电子集团公司掩模中心
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年2期
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