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抗蚀剂组合法制造DFB激光器λ/4相移光栅
抗蚀剂组合法制造DFB激光器λ/4相移光栅
来源 :光通信研究 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaomeitomei
【摘 要】
:
本文介绍用正、负光致抗蚀剂组合的方法,制造用于DFB激光器λ/4相移光栅的原理及工艺,并给出了研究结果和质量评价。光栅周期为4600A,相移转换区小于3μm。
【作 者】
:
杨新民
【机 构】
:
武汉电信器件公司工程师
【出 处】
:
光通信研究
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
DFB
激光器
相移光栅
制造
抗蚀剂
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本文介绍用正、负光致抗蚀剂组合的方法,制造用于DFB激光器λ/4相移光栅的原理及工艺,并给出了研究结果和质量评价。光栅周期为4600A,相移转换区小于3μm。
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