固体材料在大气中会溶解、吸附一些气体,当材料置于真空环境下,就会因气体解溶、解吸、电子轰击等而发生放气.电真空微波器件广泛应用于加速器、卫星通信、可控热核聚变、全球定位及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,其制造过程中非常关键的步骤是真空获得.为提高微波电真空器件研制过程中的管内真空水平,本文研制了高精度真空材料放气测试装置.系统采用小孔流导法测试出气率,极限真空低于5.0×10-7 Pa.利用本装置进行了电子轰击材料出气的试验研究.实验表明无氧铜在脉冲电子束轰击下出气速率与电压 、频率、脉宽成正比;电子轰击的材料暴露大气后,在电子束轰击下出气速率在短时间内迅速降低到以前的放气率水平.采用四级质谱仪对电子轰击时真空室内的残余气体成分进行了分析,其主要成分为H2(2),其它成份依次为H2O(18),N2(28),和CO2(44).对电子轰击材料出气机理进行了分析.金属电离规管进行的电子轰击除气实验研究也证明了这些实验结果.因此利用热阴极或电子枪作为电子发射源,对微波电真空器件收集极、阳极等金属材料进行电子轰击除气,将是制造长寿命高可靠微波电真空器件所必要且可行的方法.