【摘 要】
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分析了GaAs／GaAsAl阴极粘结工艺中应力产生的根源和晶体中的应力对X射线双晶衍射峰的宽度和强度的影响。用X射线双晶衍射仪测量了阴极和玻璃热粘结工艺过程中的阴极材料外延层
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分析了GaAs／GaAsAl阴极粘结工艺中应力产生的根源和晶体中的应力对X射线双晶衍射峰的宽度和强度的影响。用X射线双晶衍射仪测量了阴极和玻璃热粘结工艺过程中的阴极材料外延层和衬底的双晶回摆曲线。实验结果表明，GaAs／GaAsAl阴极粘结工艺没有带来明显的附加应力，外延层衍射角度的展宽是由于CaAs阴极组件窗玻璃的非晶态性所致。
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