RF MEMS引线键合的射频性能和等效电路研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wjln123456
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针对一种用键合线连接的简单封装模型进行射频性能的模拟。用HFSS软件对不同长度、不同高度、不同直径以及不同间距的键合线进行模拟,总结出这些参数对键合线射频性能的影响.提出了由顶盖、CPW和键合线组成的简单封装结构的等效电路,并提取参数值.用Microwave Office软件对等效电路进行模拟,其S11在6~8GHz内与HFSS模拟的模型的S11相差2dB以内,其S21在1~10GHz内与模型的S21相差0.1dB以内.
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