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为100％保证薄膜宽度指标，采用光学成像方法，用线阵CCD作光电接收传感器，以单片机作主控处理器，设计了可用于高精度测量薄膜宽度的装置，对薄膜宽度进行在线非接触高精度测量，经论证取得了较好的测量效果，生产现场精度优于±0．050mm，实验室精度优于±0．040mm.
线阵CCD薄膜测宽装置关键技术
【摘 要】
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为100％保证薄膜宽度指标，采用光学成像方法，用线阵CCD作光电接收传感器，以单片机作主控处理器，设计了可用于高精度测量薄膜宽度的装置，对薄膜宽度进行在线非接触高精度测量，经论证取
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
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2009年5期
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