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本文介绍了加速度传感器阵列的结构设计和工作原理,利用离心机的调心原理,实现了对加速度传感器阵列的低误差静态标定,给出了标定数据和分析结果。
硅微加速度传感器阵列的低误差静态标定
【摘 要】
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本文介绍了加速度传感器阵列的结构设计和工作原理,利用离心机的调心原理,实现了对加速度传感器阵列的低误差静态标定,给出了标定数据和分析结果。
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2007年03S期
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