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随着国防、机械等领域对硬脆材料微型元件的需求的增长，对硬脆材料去除机理的研究越来越受到众多专家的重视．本文基于单颗磨粒运动轨迹的分析对硬脆材料超声振动端面微磨削方式的去除机理进行研究．结果表明由于超声振动的引入，会形成断续磨削，有效降低磨削力和磨削温度，提高磨削效率，解决微加工现存的磨头易磨损、磨削热量大等缺点．在此理论研究基础上，根据超声振动端面微磨削加工的特点提出设计原则，进而提出实验平台整体设计方案，并针对关键部件进行有限元分析及优化．