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期刊论文
离子注入的特殊应用
离子注入的特殊应用
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zshuangjiamin
【摘 要】
:
描述了离子注入的几个特殊应用,其中包括离子束退火效应,增加肖特基势垒高度,注入吸杂效应,合成 SiO_2膜及离子注入材料改性等。
【作 者】
:
曾庆高
【机 构】
:
重庆光电技术研究所永川632163助工
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1993年2期
【关键词】
:
离子注入
离子束退火
半导体器件
Ion Implantation
IBA
Gettering
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描述了离子注入的几个特殊应用,其中包括离子束退火效应,增加肖特基势垒高度,注入吸杂效应,合成 SiO_2膜及离子注入材料改性等。
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