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通过失效形式，分析了半导体Ｐ－Ｎ结温度传感器的失效机理，介绍了为降低内应力而进行的设计和工艺改进。
半导体P—N结温度传感器失效分析与改进措施
【摘 要】
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通过失效形式，分析了半导体Ｐ－Ｎ结温度传感器的失效机理，介绍了为降低内应力而进行的设计和工艺改进。
【机 构】
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辽宁省宽甸晶体管厂
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1997年4期
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