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真空计量学已发展成为计量学的一个新的独立分支,其研究内容已从传统的全压力测量与校准扩展到分压力测量与校准、气体微流量(漏率)测量与校准.本文描述了这三个方面的最新进展,从中可看出真空计量学的现状与发展趋势.
真空计量的新进展
【摘 要】
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真空计量学已发展成为计量学的一个新的独立分支,其研究内容已从传统的全压力测量与校准扩展到分压力测量与校准、气体微流量(漏率)测量与校准.本文描述了这三个方面的最新进
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2003年5期
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