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期刊论文
长度光栅测量系统的误差修正技术
长度光栅测量系统的误差修正技术
来源 :中国新技术新产品 | 被引量 : 2次 | 上传用户:songchanglei
【摘 要】
:
长度测量技术是近几年工程建设、工业生产等领域研究最多的问题,其测量系统分辨率早已经达到微米、亚微米乃至纳米等级。本文就长度光栅测量工作中出现的误差来源分析,简单的阐述了有关误差修正技术,仅供同行工作参考。
【作 者】
:
臧洪涛
【机 构】
:
佳木斯市质量技术监督检验检测中心
【出 处】
:
中国新技术新产品
【发表日期】
:
2015年11期
【关键词】
:
长度光栅测量系统
误差
修正技术
分辨率
测量结果
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长度测量技术是近几年工程建设、工业生产等领域研究最多的问题,其测量系统分辨率早已经达到微米、亚微米乃至纳米等级。本文就长度光栅测量工作中出现的误差来源分析,简单的阐述了有关误差修正技术,仅供同行工作参考。
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