【摘 要】
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据美帝国际商业机械公司的莫罗(W.Moreau)说,用红宝石激光器几乎可以立即完成沉积集成电路光掩模的冗长的过程。这种技术要求从一个表面蒸发金属图象并精确地沉积到另一表面
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据美帝国际商业机械公司的莫罗(W.Moreau)说,用红宝石激光器几乎可以立即完成沉积集成电路光掩模的冗长的过程。这种技术要求从一个表面蒸发金属图象并精确地沉积到另一表面上去,而不使尺寸仅为几微米的图案畸变。
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