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我国大型高精度衍射光栅刻划系统项目实施
我国大型高精度衍射光栅刻划系统项目实施
来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:q5479333321
【摘 要】
:
由国家光栅制造与应用工程技术研究中心申请的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统”获得批准。
【出 处】
:
工具技术
【发表日期】
:
2009年3期
【关键词】
:
光栅刻划
高精度
项目实施
系统
衍射
工程技术研究中心
研制项目
财政部
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由国家光栅制造与应用工程技术研究中心申请的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统”获得批准。
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