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采用磁控溅射工艺制备了CoFeNbZrRE非晶态薄膜，重点研究了掺杂稀土元素（RE）的种类和掺杂量对薄膜微结构、软磁性能、微波磁导率及其频谱特性的影响。结果表明，少量稀土元素的掺杂对该类薄膜的微结构和软磁性能影响较小，但可增强薄膜磁谱的弛豫性，从而影响其微波磁导率。增加稀土元素的掺杂量能显著提高薄膜的弛豫性和微波磁损耗，且重稀土元素比轻稀土元素表现出更强的弛豫性。适当选取稀土元素的种类和含量，CoFeNbZrRE类非晶态薄膜在吉赫兹微波段复磁导率实部和虚部均可高于100，有望在超薄层吸波材料中获得应用。