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用于微流量系统的一种微型泵刘兴占清华大学精密仪器系北京：１０００８４随着科学技术的发展，纳米微米技术也随之得到发展，尤其近些年内，国内外在微制造技术的发展取得了很大进展，如ＬＩＧＡ电铸技术及ＩＣ技术，使得某些微机械、微马达、微传感器、微加速度计及微型...
用于微流量系统的一种微型泵
【摘 要】
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用于微流量系统的一种微型泵刘兴占清华大学精密仪器系北京：１０００８４随着科学技术的发展，纳米微米技术也随之得到发展，尤其近些年内，国内外在微制造技术的发展取得了很大进展，如ＬＩＧＡ电铸技术及
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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工业仪表与自动化装置
【发表日期】
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1998年4期
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