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微细加工技作为现代加工技术的延伸，是二十一世纪的关键技术之一。本文介绍了微机电系统的原理及特点，列举了一些微机电系统中所涉及到的微细加工方法，并阐述了其发展及应用。
微系统及其加工方法的介绍
【摘 要】
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微细加工技作为现代加工技术的延伸，是二十一世纪的关键技术之一。本文介绍了微机电系统的原理及特点，列举了一些微机电系统中所涉及到的微细加工方法，并阐述了其发展及应用。
【机 构】
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南昌航空大学
【出 处】
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江西化工
【发表日期】
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2015年1期
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