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采用无氟金属有机物沉积法（MOD）在（001）取向的LaAlO3单晶基底上制备出DyBa2Cu307-x（DyBCO）超导薄膜。由于采用了无氟金属有机物体系，分解过程中避免了采用传统的三氟醋酸盐时有害气体的产生。SEM分析表明，成相过程中增加高温热处理过程，可以明显提高外延生长薄膜的质量。X射线衍射（XRD）分析及φ扫描的结果表明，经过高温处理的DyBCO薄膜具有良好的面内外织构。本研究制备的DyBCO薄膜的超导转变温度达92K，77K自场下的临界电流密度达到1．8MA／cm2。