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以马来酸酐、呋喃、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料，合成了一种新的非离子型产酸剂N-羟基-3，6-内氧桥-4-环已烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯，优化了中间产物的合成条件，通过红外表征测定了中间产物和最终产物的化学结构；测定了产物在常用有机溶剂中的溶解性，并通过紫外表征测定了其紫外吸收性。实验结果表明，该产物在常用有机溶剂中具有良好的溶解性，并在248nm波长处有好的透明性，可用于248nm光刻工艺体系。