射频激励CO_2激光器的阻抗匹配及调制的实验研究

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论述了射频(RF)激励气体放电所必须的在RF源与激光头放电气体之间的阻抗匹配器的工作原理及其实验,并依据研制成功的千瓦级RF激励快轴流CO2激光器的实际参数,论证了气体放电阻抗的计算、动态阻抗调配及RF泵浦调制的激光实验。 The working principle and experiment of the impedance matching device between RF source and laser discharge gas, which is necessary for radio frequency (RF) excitation gas discharge, are discussed. Based on the actual parameters of developed kilowatt RF fast CO2 laser , Demonstrated the gas discharge impedance calculation, dynamic impedance matching and RF pump modulation laser experiment.
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