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为了完善SF6气体绝缘设备的在线检测方法，首先从理论上对激光光腔衰荡光谱法（CRDS）的原理进行了阐述，并对SF6的主要分解产物进行了分析讨论，选择H2S作为特征组份进行检测，最后设计了对基于光腔衰荡的H2S检测装置，并增加了SF6纯度以及微水含量的检测，完成了基于光腔衰荡的在线检测装置，该装置可以对SF6纯度、微水以及H2S含量进行实时在线测量。该装置在国网特高压实验基地的GIL实验场地挂网试运行，并对运行一年以来的数据进行了分析，证明了该装置测量数据准确可靠，运行状况良好。