【摘 要】
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针对铁电器件制备过程中，由铁电材料对工艺的敏感性导致铁电器件难以进行系统研究的困难，提出了应用SILVACO软件以铁电材料的实际测试结果为仿真基准，通过材料参数有限且系统的
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针对铁电器件制备过程中，由铁电材料对工艺的敏感性导致铁电器件难以进行系统研究的困难，提出了应用SILVACO软件以铁电材料的实际测试结果为仿真基准，通过材料参数有限且系统的变化，研究不同的材料参数对器件性能的影响的研究方法。通过应用该仿真方法研究基于PZT栅极材料的MIFIS结构的铁电场效应晶体管的最佳漏极电流与铁电栅材料参数关系。仿真结果表明，铁电栅极材料剩余极化强度越大，材料的不饱和度越大，铁电场效应晶体管漏极电流越大。这说明要提高器件的漏极电流仅仅提高剩余极化强度是不够的，提高材料的不饱和度也非常重
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